طبق آخرین اخبار هواوی به تازگی یک پتنت ثبت اختراع جدید را برای تولید اسکنر لیتوگرافی فرابنفش (EUV) ثبت کرده است. اینکه هواوی بتواند ثبت اختراع خود را عملی کند و در نهایت آن را بسازد میتواند مشکلات زیادی را برای تراشه سازهای چینی برطرف کند و کمپانیهای چینی با استفاده از این تکنولوژی میتوانند تراشههای ۷ نانومتری را تولید کنند.
با این حال تولید این اسکنر آسان نیست و سوال اصلی زمان تولید و نهایی شدن آن است. در این گزارش اشاره شده که هواوی اواسط ماه نوامبر این پتنت را برای ساخت اسکنر EUV ثبت کرد و شماره ثبت این حق اختراع نیز 202110524685X عنوان شده است. در همین راستا همچنین گزارش شده که این پتنت تمام جزئیات تشکیل دهنده این اسکنر EUV را پوشش میدهد و این شامل یک مولد نور ۱۳.۵ نانومتری، آیندههای بازتابنده، سیستم لیتوگرافی و فناوریهای مدیریت و کنترلی دستگاه میشود.
با این حال ثبت اختراع اولیه برابر با توانایی برای ساخت یک اسکنر نیست و این دستگاهها بسیار پیچیده هستند و تمام اجزای آنها نیاز به مواد متعدد و خاص با مهندسی دقیق و کارکرد هماهنگ با یکدیگر برای مدت زمانی طولانی دارد. علاوه بر این حتی با بهرهمندی از ابزارهای اولیه ساخت EUV، تراشهسازان همچنان باید تنظیمات دیگر را برای راه اندازی دستگاه در حجم تولیدی بالا پیادهسازی کنند.
یک اسکنر EUV با دیافراگم عددی ۰.۳۳ پیشرفتهترین دستگاههای استفاده شده در دنیای امروز است و شرکتهای متعددی در گذشته تلاش کردند تا چنین دستگاههایی را تولید کنند، اما تنها کمپانی هلندی ASML توانست پس از گذشت یک دهه با پشتیبانی و سرمایهگذاری اینتل، سامسونگ و TSMC موفق به ساخت چنین دستگاههایی برای لیتوگرافی تراشه در مقیاس بالا شود.
در همین راستا امروزه اگر نه همه، بلکه اکثر شرکتهای صنعت نیمههادی از جمله TSMC، سامسونگ و SK Hynix از دستگاههای لیتوگرافی EUV کمپانی ASML بهره میبرند. با این حال اینتل هنوز تولید تراشههای خود با استفاده از این دستگاهها را آغاز نکرده است. در حال حاضر تنها شرکتهای Micron، سامسونگ، SK Hynix و TSMC از اسکنرهای EUV استفاده میکنند یا برای استفاده از آنها برنامهریزی کردهاند.
علاوه بر این، تنها پنج شرکت تراشهسازی، فناوری ساخت چیپست شان به قدری پیشرفته است که میتوانند از اسکنرهای EUV استفاده کنند. در همین حال شرکت SMIC مستقر در چین همین حالا با توافق Wassenaar قرار است با تهیه EUV های از قبل ساخته شده، EUV های خود را مبتنی بر آنها تولید کند، بنابراین میتوان گفت که تقاضا برای اسکنرهای EUV در چین بالا است و هواوی نیز سعی داره با توسعه این دستگاهها به این نیازها پاسخ دهد.
با این حال هزینه ساخت زیاد و تحقیق و توسعه طولانی مدت در این خصوص وجود دارد و هواوی نیز در سالهای گذشته منبع درآمدی به دلیل تحریمها کاهش یافته است.